MIDAS-E-XHF | Honeywell Midas® NF₃/氟甲烷（NP1裂解） NF₃ 0–40 ppm / CH₃F 0–120 ppm
MIDAS-E-XHF 是霍尼韦尔 Midas® 2 年 E 仓，测 NF₃/氟甲烷（NP1裂解）（NF₃/CH₃F），量程 NF₃ 0–40 ppm / CH₃F 0–120 ppm，原理 裂解+电化学。插入 MIDAS-T-004 抽取式变送器，不是 XCD 扩散头。抽气距离最长 30 m（FEP），流量约 500 mL/min。
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订货号解码
| 段 | 含义 | 本型号 |
|---|---|---|
| MIDAS | 霍尼韦尔 Midas® 抽取式 | MIDAS |
| E | 2 年延保传感仓 | E |
| XHF | NF₃/氟甲烷（NP1裂解） | XHF |
技术规格
| 类别 | 传感仓 · 2 年延保 |
|---|---|
| 气体 | NF₃/CH₃F / NF₃/氟甲烷（NP1裂解） |
| 量程 | NF₃ 0–40 ppm / CH₃F 0–120 ppm |
| 原理 | 裂解+电化学 |
| 流量 | 约 500 mL/min |
| 采样距离 | 2–30 m FEP |
| 供电 | 24 VDC 或 PoE 48 V |
| 输出 | 0–21 mA + 3 relays + Modbus TCP/PoE |
| 温度 | 0–40 ℃（裂解器 0–30 ℃） |
| 尺寸/重量 | 150×65×153 mm / 0.8 kg |
| 认证 | CE, EN 50270, UL 61010-1, IEEE 802.3af |
变送器 150×65×153 mm / 0.8 kg；NF₃ 裂解器 70×63×85 mm / 0.41 kg；高温 PFC 裂解器 100×101×140 mm / 1.36 kg。
为何用这个订货号
Midas 是抽取式点，把样气抽到机柜里的传感仓，适合半导体气柜、阀箱和洁净厂房吊顶无法上防爆头的场合。NF₃/氟甲烷（NP1裂解） 用 裂解+电化学；标有裂解的气种必须加 MIDAS-T-00P / T-HTP / T-NP1，否则仓插上也不出数。
配套与可更换件
MIDAS-E-XHF 配 MIDAS-T-004。泵用 MIDAS-A-007，内滤 MIDAS-A-009。同气种 1 年仓见 S 系列。标定和维护见 product-2679。
典型应用
典型点：气柜、VMB、湿法台、CVD/蚀刻尾气。MIDAS-E-XHF 只锁定气种和寿命，变送器、泵 A-007、内滤 A-009 按维护周期另备。
选型对比
| P/N | 类别 | Gas | Range |
|---|---|---|---|
| MIDAS-S-XHF | 传感仓 · 1 年标配 | NF₃/CH₃F | NF₃ 0–40 ppm / CH₃F 0–120 ppm |
| MIDAS-T-004 | 抽取式变送器 | MIDAS-T-004 | — |
| MIDAS-A-007 | 备件 | MIDAS-A-007 | — |
| MIDAS-E-ASH | 传感仓 · 2 年延保 | AsH₃/GeH₄ | AsH₃ 0–200 ppb / GeH₄ 0–800 ppb |
| MIDAS-E-B2H | 传感仓 · 2 年延保 | B₂H₆ | 0–400 ppb |
| MIDAS-E-BR2 | 传感仓 · 2 年延保 | Br₂/ClO₂ | 0–0.4 ppm |
| MIDAS-E-CFH | 传感仓 · 2 年延保 | PFC | ppm PFC |
安装与气路
先把 MIDAS-T-004 用预钻孔上墙或 DIN 导轨 A-036，再插入 MIDAS-E-XHF。采样管 1/8″ID×1/4″OD FEP 最长 30 m，排气管 1/4″ID×3/8″OD 最长 30 m；线端过滤器按气种选 0780248 或 1830-0055/0027。24 VDC（−15%~+10%）或 PoE 48 V；含裂解器功耗可到 12.95 W。工作温度 0–40 ℃，带裂解器 0–30 ℃。
常见问题
- MIDAS-E-XHF 能插到 Sensepoint XCD 上吗？
- 不能。Midas 是抽取式暗盒，XCD 是扩散式传感仓，机械和气路都不通。
- MIDAS-E-XHF 要不要配裂解器？
- CH₂F₂、C₄F₆、C₅F₈、NF₃、CH₃F 等带 ** 的气种必须配 MIDAS-T-00P / T-HTP / T-NP1，并加通风盖。
- MIDAS-E-XHF 和 S 仓有什么差别？
- 气体和量程相同。E 是 2 年延保，S 是 1 年标配。LEL 仓质保 2 年但可标定到 5 年。
- MIDAS-E-XHF 的 4–20 mA 怎么接？
- 3 线槽、3 线源或 4 线隔离 0–21 mA；另有 3 组继电器和 Modbus TCP / PoE。最大 14 AWG。
文档下载
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询价与交期
现货与交期按批次确认。E 仓缺货先看同气种 S 仓，裂解气种必须同时订裂解器，不要停在空订货号上。