SENKO SI-310 内置热解器，抽吸检测六氟丁二烯、八氟环戊烯、二氟甲烷、氟甲烷等半导体特种气。
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 测量气体 | C₄F₆ / C₅F₈ / CH₂F₂ / CH₃F 等（热解后测量） |
| 检测原理 | Pyrolyzer + cartridge |
| 采样方式 | Sampling 100–1000 ml/min |
| 防护等级 | Ex enclosure |
| 防爆等级 | Explosion-proof |
| 工作温度 | fab |
| 电池 | 24 VDC, ~15 W (pyrolyzer 600 mA) |
| 尺寸 | 212 × 225 × 141.7 mm |
| 重量 | 6.5 kg |
卡式传感器，流量显示，4–20 mA 与三继电器，RS-485/以太网/蓝牙。约 6.5 kg。
| Model | SI-310 |
| Principle | Pyrolyzer + cartridge |
| Method | Sampling 100–1000 ml/min |
| IP | Ex enclosure |
| Certification | Ex d (catalog) |